Giới thiệu về Pad đánh bóng sàn

Thành phần vật liệu của miếng mài sàn (còn được gọi là miếng đánh bóng hoặc miếng chà nhám) khác nhau tùy thuộc vào mục đích sử dụng và giai đoạn cụ thể của quy trình xử lý.

Miếng đánh bóng-còn được gọi là miếng CMP hoặc miếng đánh bóng cơ học-hóa học-đóng vai trò là vật tư tiêu hao cốt lõi trong quy trình Đánh bóng cơ học (CMP) hóa chất-. Chúng chủ yếu được sử dụng để làm phẳng bề mặt của các chất nền như tấm bán dẫn. Thường được chế tạo từ các vật liệu như polyurethane, những miếng đệm này được phân loại rộng rãi-dựa trên thành phần-thành các loại bao gồm polyurethane, vải không-dệt, vật liệu tự nhiên và vật liệu tổng hợp. Trong lịch sử, thị trường này bị các doanh nghiệp nước ngoài độc quyền nặng nề; Tại thị trường nội địa, Công ty TNHH Dinglong là doanh nghiệp tiêu biểu trong lĩnh vực này.

Chức năng cốt lõi của chúng trong quá trình đánh bóng bao gồm việc cung cấp bùn đánh bóng, truyền áp suất và tạo ra ma sát cơ học trên bề mặt wafer.

Miếng đánh bóng thường có cấu trúc vi mô xốp, với các mẫu rãnh cụ thể được thiết kế trên bề mặt của chúng để tăng cường tính đồng nhất khi đánh bóng.

Các thông số hiệu suất chính-chẳng hạn như độ cứng và kiểu rãnh-là các thuộc tính quan trọng của miếng đánh bóng vì chúng ảnh hưởng trực tiếp đến cả tốc độ loại bỏ vật liệu và độ hoàn thiện bề mặt cuối cùng.